国家标准《硅外延片》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 宁波立立电子股份有限公司 。
主要起草人 许峰 、刘培东 、李慎重 、谌攀 。
GB/T 14139-1993 （全部代替）
GB/T 14139-2009 废止
GB/T 14139-2019 （全部代替）
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