国家标准《硅外延片》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 浙江金瑞泓科技股份有限公司 、南京国盛电子有限公司 、上海合晶硅材料有限公司 、有色金属技术经济研究院 、有研半导体材料有限公司 。

主要起草人 张海英 、李慎重 、蒋玉龙 、骆红 、胡金枝 、卢立延 、李素青 。