国家标准《硅外延片》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 上海第二冶炼厂 。
GB/T 14139-1993 废止
GB/T 14139-2009 (全部代替)
本标准非等效采用ITU国际标准:SEMI S2。
采标中文名称:。