国家标准《200mm硅外延片》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 南京国盛电子有限公司 、有色金属技术经济研究院 。

主要起草人 马林宝 、骆红 、杨帆 、金龙 、杨素心 。