国家标准计划《氧化镓外延片》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 、中国电子科技集团公司第十三研究所 、中国科学技术大学 、杭州镓仁半导体有限公司 、西安电子科技大学 。