国家标准计划《电子器件用氮化镓外延片》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京大学东莞光电研究院 、中电化合物半导体有限公司 、苏州能讯高能半导体有限公司 、中国电子科技集团公司第四十六研究所 、南京国盛电子有限公司 。