国家标准计划《硅外延用碳化硅载盘》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 深圳市志橙半导体材料股份有限公司 、上海新昇半导体科技有限公司 、中环领先半导体科技股份有限公司 、中国电子科技集团公司第十三研究所 、北京北方华创微电子装备有限公司 、中微半导体设备（上海）股份有限公司 、南京国盛电子有限公司 、广东省科学院半导体研究所 、赛迈科先进材料股份有限公司 。