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国家标准《硅-蓝宝石外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位天津半导体技术研究所。

目录

标准状态

当前标准

GB/T 14015-1992 现行

硅-蓝宝石外延片

基础信息

标准号: GB/T 14015-1992
发布日期: 1992-12-28
实施日期: 1993-08-01

标准类别: 产品
中国标准分类号: L90
归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门: 国家标准化管理委员会

采标情况

本标准非等效采用其他国际标准：SEMI M3:1983。

采标中文名称:。

起草单位

天津半导体技术研究所

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