国家标准计划《砷化镓基化合物半导体外延片》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 厦门士兰明镓化合物半导体有限公司 、全磊光电股份有限公司 、云南鑫耀半导体材料有限公司 、厦门银科启瑞半导体科技有限公司 、山东浪潮华光光电子股份有限公司 、江苏华兴激光科技有限公司 、华芯半导体科技有限公司 、西安唐晶量子科技股份有限公司 、芯思杰技术（深圳）股份有限公司 、湖南汇思光电科技有限公司 。

主要起草人 李森林 、廖寅生 、毕京锋 、单智发 、李明阳 、杨美佳 、惠峰 、褚克成 、蔡芳芳 、闫宝华 、尧舜 、龚平 、杨彦伟 、杨骏捷 、李晓明 。