国家标准化指导性技术文件登记项目《微机电系统（MEMS）技术 基于SOI晶圆的掺钪氮化铝薄膜压电微机械超声换能器制备工艺规范》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京大学 、中机生产力促进中心有限公司 、清华大学 、武汉大学 、上海交通大学 、杭州电子科技大学 、西安交通大学 、中国科学院上海微系统与信息技术研究所 。