国家标准化指导性技术文件登记项目《微机电系统（MEMS）技术 单晶金刚石近表层NV色心阵列制备工艺规范》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中北大学 、北京大学 、中国科学技术大学 、机械工业仪器仪表综合技术经济研究所 、太原工业学院 、诺瓦晶体科技有限公司 、西安交通大学 。