国家标准《微机电系统（MEMS）技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）、全国集成电路标准化技术委员会联合归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 合肥华凌股份有限公司 、中机生产力促进中心有限公司 、宁波科联电子有限公司 、中北大学 、长虹美菱股份有限公司 、广州自平测控科技有限公司 、海信集团控股股份有限公司 、上海新微技术研发中心有限公司 、无锡小天鹅电器有限公司 、北京智芯微电子科技有限公司 、北京晨晶电子有限公司 、广州天极电子科技股份有限公司 、无锡华润上华科技有限公司 、西北工业大学 、东南大学 、成都航天凯特机电科技有限公司 、中国电力科学研究院有限公司 、北京大学 、苏州大学 、四川长虹虹微科技有限公司 、美的集团股份有限公司 、无锡吴越物芯科技有限公司 。

主要起草人 余燕 、李根梓 、史进东 、王俊强 、杨浩 、马卓标 、曹诗亮 、卢奕鹏 、张革 、方东明 、张云辉 、张舒楠 、王科 、程宇心 、王春举 、卢敏仪 、夏长奉 、周再发 、闫晓剑 、熊贵林 、董接莲 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-42:2022。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第42部分：压电式微机电悬臂梁机电转换特性的测试方法。