国家标准化指导性技术文件登记项目《微机电系统（MEMS）技术 碳纳米管网络状薄膜液栅场效应晶体管制备工艺规范》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京大学 、湘潭大学 、湖南华碳传感技术研究院 、北京大学重庆碳基集成电路研究院 、国家卫生健康委科学技术研究所 。