国家标准《硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 西北工业大学 、中机生产力促进中心 。

主要起草人 苑伟政 、谢建兵 、李海斌 、乔大勇 、马志波 、常洪龙 、刘伟 。