《微机电系统（MEMS）技术 基于SOI晶圆的掺钪氮化铝薄膜压电微机械超声换能器制备工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准委。

目前，国内外针对微机电系统（MEMS）压电薄膜材料及器件的标准化工作主要集中在“性能表征”与“测试方法”领域，如GB/T 44515-2024《微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法》（等同采用 IEC 62047-30:2017）及GB/T 44513-2024《微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法》（等同采用IEC 62047-37:2020）。

然而，无论是国际标准（IEC）还是国内标准（GB），目前均缺乏专门针对基于掺钪氮化铝（ScAlN）这一新型高性能压电薄膜的制备工艺全流程规范，也未见专门针对压电微机械超声换能器（PMUT）器件加工过程的标准化指导文件。