国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 电容式加速度传感器（111）硅晶圆单面制备工艺规范》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布即实施。

主要起草单位 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 、上海迷思科技有限公司 、上海微技术工业研究院 、中机生产力促进中心有限公司等 。