国家标准化指导性技术文件登记项目《微机电系统（MEMS）技术 电容式加速度传感器（111）硅晶圆单面制备工艺规范》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布即实施。

主要起草单位 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 、中机生产力促进中心有限公司 、上海迷思科技有限公司 、上海微技术工业研究院 、上海矽睿科技股份有限公司 、浙江欣芯微机电制造有限公司 、北京智芯微电子科技有限公司 、中国电子科技集团公司第四十九研究所 、无锡华润上华科技有限公司 、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司 、武汉大学 。

主要起草人 王家畴 、李根梓 、倪藻 、李伟 、娄亮 、颜培力 、戈肖鸿 、鲍海飞 、方东明 、刘智辉 、夏长奉 、陈立国 、吴国强 。