国家标准计划《砷化镓单晶位错密度的测试方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 广东先导微电子科技有限公司 、有研国晶辉新材料有限公司 、威科赛乐微电子股份有限公司 、中国电子科技集团公司第四十六研究所 、东莞市中镓半导体科技有限公司 。