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行业标准《低位错密度砷化镓抛光片蚀坑密度的测量方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部

主要起草单位 信息产业专用材料质量监督检验中心工业和信息化部电子工业标准化研究院苏州晶瑞化学有限公司等

主要起草人 章安辉何秀坤刘兵等

目录

标准状态

基础信息

标准号
SJ/T 11490-2015
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
中国标准分类号
H83
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
工业和信息化部
行业分类

备案信息

备案号:50547-2015。

备案公告: 2015年第7号

起草单位

起草人

章安辉
何秀坤
刘兵

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