行业标准《低位错密度砷化镓抛光片蚀坑密度的测量方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 信息产业专用材料质量监督检验中心 、工业和信息化部电子工业标准化研究院 、苏州晶瑞化学有限公司等 。
主要起草人 章安辉 、何秀坤 、刘兵等 。
备案号:50547-2015。
备案公告: 2015年第7号 。