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国家标准计划《锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 中国电子科技集团公司第十一研究所中国电子技术标准化研究院中航凯迈红外科技有限公司

目录

项目进度

修订了以下标准

GB/T 11297.6-1989 (全部代替)

锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法
当前标准计划

20252259-T-469 正在起草

锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法

基础信息

计划号
20252259-T-469
制修订
修订
项目周期
16个月
下达日期
2025-07-01
标准类别
方法
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

起草单位

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