国家标准《砷化镓单晶位错密度的测试方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 有研光电新材料有限责任公司 、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司 、国合通用测试评价认证股份公司 、中国电子科技集团第四十六研究所 、广东先导稀材股份有限公司 、雅波拓（福建）新材料有限公司 。

主要起草人 赵敬平 、林泉 、于洪国 、惠峰 、刘淑凤 、姚康 、许所成 、许兴 、马英俊 、王彤涵 、赵素晓 、韦圣林 、陈晶晶 、付萍 。