国家标准《碳化硅单晶位错密度的测试方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京天科合达半导体股份有限公司 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 。

主要起草人 彭同华 、佘宗静 、娄艳芳 、王大军 、赵宁 、王波 、郭钰 、杨建 、李素青 。