国家标准计划《氮化铝单晶位错密度测试方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 、中国电子科技集团公司第十三研究所 、北京通美晶体技术股份有限公司 、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 、有研国晶辉新材料有限公司 、东莞中镓半导体有限公司 。