国家标准计划《氮化铝单晶位错密度测试方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 、江苏第三代半导体研究院有限公司 、中电晶华（天津）半导体材料有限公司 、河北工业大学 、天津泽希新材料有限公司 、奥趋光电技术（杭州）有限公司 、北京中材人工晶体研究院有限公司 、松山湖材料实验室 、北京聚睿众邦科技有限公司 、山东有研半导体材料有限公司 、北京大学东莞光电研究院 。

主要起草人 姚康 、张志鹏 、何烜坤 、张淼 、张丽 、牛文杰 、陈贵锋 、李明达 、高伟 、吴亮 、周振翔 、王琦琨 、王颖 、胡伟 、闫方亮 、朱晓彤 、刘强 。