国家标准《锗单晶位错密度的测试方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 有研光电新材料有限责任公司 、北京国晶辉红外光学科技有限公司 、国合通用测试评价认证股份公司 、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司 、中国电子科技集团公司第四十六研究所 、广东先导稀材股份有限公司 、中锗科技有限公司 、义乌力迈新材料有限公司 。

主要起草人 张路 、冯德伸 、马会超 、普世坤 、姚康 、刘新军 、郭荣贵 、向清华 、韦圣林 、黄洪伟文 。