国家标准《蓝宝石单晶位错密度测量方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 江苏协鑫软控设备科技发展有限公司 、中国科学院上海光学精密机械研究所 、深圳市中安测标准技术有限公司 。

主要起草人 薛抗美 、黄修康 、杭寅 、尹继刚 、田野 、张永波 、张毅 。