国家标准《金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院半导体研究所 、德州学院 、成都中科米格检测技术有限公司 、中国石油集团工程材料研究院有限公司 、河南碳真芯材科技有限公司 、吉林大学 、安徽光智科技有限公司 、山东大学 、嘉兴沃尔德金刚石工具有限公司 、北京大学东莞光电研究院 、浙江先导微电子科技有限公司 、北京特思迪半导体设备有限公司 、宁波晶钻科技股份有限公司 、河南省惠丰金刚石有限公司 、哈工大郑州研究院 、南京同溧晶体材料研究院有限公司 、湖北碳六科技有限公司 、南京瑞为新材料科技有限公司 、成都市玖展科技有限公司 、佳睿福钻石（河南）有限公司 。

主要起草人 霍晓迪 、曹繁秋 、郑红军 、王希玮 、闫方亮 、王少龙 、屈鹏霏 、王镇 、金鹏 、李红东 、朱嘉琦 、欧琳芳 、陈继锋 、王琦 、于金凤 、蒋继乐 、张娟涛 、张军安 、王志强 、李一村 、李东振 、吕继磊 、徐良伟 、黄亮 、冯参军 、赵继文 。