国家标准计划《半导体器件 微电子机械器件 第22部分：柔性衬底导电薄膜机电拉伸测试方法》由 TC599（全国集成电路标准化技术委员会）归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。

主要起草单位 中国电子技术标准化研究院 、上海烨映微电子科技股份有限公司 、瑞声科技有限公司 、工业和信息化部电子第五研究所 、北京大学等 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-22:2014。

采标中文名称:半导体器件 微电子机械器件 第22部分：柔性衬底导电薄膜机电拉伸测试方法。