国家标准计划《半导体器件 微电子机械器件 第21部分：MEMS薄膜材料泊松比测试方法》由 TC599（全国集成电路标准化技术委员会）归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。
主要起草单位 中国电子技术标准化研究院 、北京大学 、工业和信息化部电子第五研究所 、上海烨映微电子科技股份有限公司 、东南大学等 。
20231777-T-339 正在征求意见
| 31 电子学 |
| 31.200 集成电路、微电子学 |
本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-21:2014。
采标中文名称:半导体器件 微电子机械器件 第21部分：MEMS薄膜材料泊松比测试方法。
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