国家标准计划《半导体器件 微电子机械器件 第35部分：柔性MEMS器件弯曲形变下的电特性测试方法》由 TC599（全国集成电路标准化技术委员会）归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 中国电子技术标准化研究院 、中国电力科学研究院有限公司 、北京大学 、深圳鼎晶科技有限公司 、东莞市龙谊电子科技有限公司 。

主要起草人 刘若冰 、王冠鹰 、王玮 、喻泷 、曾敏毓 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-35:2019。

采标中文名称:半导体器件 微电子机械器件 第35部分：柔性MEMS器件弯曲形变下的电特性测试方法。