国家标准计划《半导体器件 微电子机械器件 第40部分：MEMS惯性冲击开关阈值测试方法》由 TC599（全国集成电路标准化技术委员会）归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。

主要起草单位 北京智芯传感科技有限公司 、北京大学 、中国电子技术标准化研究院等 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-40:2021。

采标中文名称:半导体器件 微电子机械器件 第40部分：MEMS惯性冲击开关阈值测试方法。