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国家标准计划《半导体器件 微电子机械器件 第40部分:MEMS惯性冲击开关阈值测试方法》由 TC599(全国集成电路标准化技术委员会)归口 ,主管部门为工业和信息化部(电子)。 拟实施日期:发布后6个月正式实施。

主要起草单位 北京智芯传感科技有限公司北京空间机电研究所北京大学安徽京芯传感科技有限公司中国电子技术标准化研究院深圳仕上电子科技股份有限公司

主要起草人 张威白先民张亚婷冯艳露赵晓东杨明刘若冰熊志红

目录

项目进度

当前标准计划

20231774-T-339 正在批准

半导体器件 微电子机械器件 第40部分:MEMS惯性冲击开关阈值测试方法

基础信息

计划号
20231774-T-339
制修订
制定
项目周期
16个月
下达日期
2023-12-28
标准类别
方法
中国标准分类号
L55
国际标准分类号
31.200
31 电子学
31.200 集成电路、微电子学
归口单位
全国集成电路标准化技术委员会
副归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国集成电路标准化技术委员会
主管部门
工业和信息化部(电子)

起草单位

起草人

张威
白先民
赵晓东
杨明
张亚婷
冯艳露
刘若冰
熊志红

采标情况

本标准等同采用IEC国际标准:IEC 62047-40:2021。

采标中文名称:半导体器件 微电子机械器件 第40部分:MEMS惯性冲击开关阈值测试方法。

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