国家标准《半导体器件 微电子机械器件 第5部分：射频MEMS开关》 由TC599（全国集成电路标准化技术委员会）归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。

主要起草单位 中国电子技术标准化研究院 、中国电子信息产业集团有限公司 、北京大学 、北京必创科技股份有限公司 、河北美泰电子科技有限公司 。

主要起草人 刘若冰 、李博 、张威 、陈得民 、崔波 、翟晓飞 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-5:2011。

采标中文名称:半导体器件 微电子机械器件 第5部分：射频MEMS开关。