国家标准计划《电子气体 卤化物气体》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 昊华气体有限公司西南分公司 、浙江省化工研究院有限公司 、大连科利德光电子材料有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、江西华特电子化学品有限公司 、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 、苏州金宏气体股份有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 、浙江西亚特电子材料有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、空气化工产品（中国）投资有限公司等 。
GB/T 14602-2014 （全部代替）
GB/T 14603-2009 （全部代替）
GB/T 17874-2021 （全部代替）
GB/T 18994-2014 （全部代替）
GB/T 26251-2010 （全部代替）
20231009-T-469 正在起草
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