国家标准计划《电子气体 卤化物气体》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 昊华气体有限公司西南分公司 、福建德尔科技股份有限公司 、山东合益气体股份有限公司 、浙江瑞亨电子材料有限公司 、北京华宇同方化工科技开发有限公司 、福建福豆新材料有限公司 、大连华邦化学有限公司 、浙江中宁硅业股份有限公司 、福建永晶科技股份有限公司 、迪森尔（北京）科技有限公司 、上海栎智半导体科技有限公司 、唐山三友电子化学品有限责任公司 、浙江英德赛半导体材料股份有限公司 、广州广钢气体能源股份有限公司 、同方威视技术股份有限公司 、北京鉴知技术有限公司 、宁波从越科技创新有限公司 、天津绿菱气体股份有限公司 、福建久策气体股份有限公司 、北京普瑞分析仪器有限公司 、大连科利德半导体材料股份有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、南大光电（乌兰察布）有限公司 、福建恒申电子材料科技有限公司 、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司 、液化空气（中国）投资有限公司 、布鲁克（北京）科技有限公司 、杭州云必技术有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、朗析仪器（上海）有限公司 、杭州新世纪混合气体有限公司 、沈阳中复科金压力容器有限公司 、中国计量大学 、北京睿信捷环保科技有限公司 、中国计量测试学会 、爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处 、上海凡伟仪器设备有限公司 、贵州省产品质量检验检测院 、宿州伊维特新材料有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 。

主要起草人 赖晓峰 、陈施华 、杨军 、李建新 、郭晓俊 、马建修 、李嘉磊 、王哲军 、李智 、孙芳 、郭琼 、侯鹏 、钱吉 、赵斌 、吴希湖 、刘春花 、李文 、李长健 、彭佛晓 、任如 、徐正军 、郑存强 、倪志远 、赵晓兰 、董晓阳 、陆岩柱 、陈志强 、王红球 、黄韬 、汤萍 、吴禹强 、何经余 、李景升 、赵银凤 、施旖旎 、陈艳珊 、杨俊豪 、王新喜 、刘光宇 、吕磊 、李庭辉 、郑秋艳 、滕鑫胜 、孙福楠 、常侠 、牛迪 、殷昊 、王若雯 、赵跃 、王军锋 、李安林 、方华 、辛伶 、杜雨桐 、黄辉 、李建浩 、王祥科 、张金波 、李明 、宫兵 、张朋越 、赵洁 、杨扬仲夫 、任希辉 、何波 、唐中伟 、程化鹏 、谈益强 、尹乐乐 、周鹏云 、唐霞梅 。