国家标准计划《电子气体 惰性稀有气体》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 昊华气体有限公司西南分公司 、杭氧集团股份有限公司 、武汉钢铁集团气体有限责任公司 、广钢气体（广州）有限公司 、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 、北京首钢气体有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、浙江省化工研究院有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、苏州金宏气体股份有限公司等 。