国家标准计划《电子气体 四氟化硅》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 浙江中宁硅业股份有限公司 、福建德尔科技股份有限公司 、昊华气体有限公司西南分公司 、浙江理工大学嵊州创新研究院有限公司 、成都产品质量检验研究院有限责任公司 、重庆同辉气体有限公司 、湖北和远气体股份有限公司 、齐磷科技（开阳）有限责任公司 、天津绿菱气体股份有限公司 、大连华邦化学有限公司 、太和气体（荆州）有限公司 、福建福豆新材料有限公司 、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司 、贵州瓮福蓝天氟化工股份有限公司 、福建久策气体股份有限公司 、北京普瑞分析仪器有限公司 、三峡大学 、衢州市计量质量检验研究院 、贵州省产品质量检验检测院 、中国计量大学 、浙江省化工研究院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、杭州云必技术有限公司 、宿州伊维特新材料有限公司 、布鲁克（北京）科技有限公司 、液化空气（中国）投资有限公司 、科哲（上海）阀门有限公司 、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、昆明广瑞达特种气体有限责任公司 、攀钢集团攀枝花钢钒有限公司 、中国计量科学研究院 、杭州新世纪混合气体有限公司 、和立气体（上海）有限公司 、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司成都分公司 、中国计量测试学会 、北京睿信捷环保科技有限公司 、福建优力特材料科技有限公司 、上海市计量测试技术研究院有限公司 、天策标准化服务（天津）有限公司 、上海凡伟仪器设备有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处 、西南化工研究设计院有限公司 。

主要起草人 栗广奉 、张朝春 、赵斌 、沈永淼 、宋雄斐 、林德荣 、黄加斗 、刘辉 、江罗 、杜鹏举 、刘志新 、赵云 、王新鹏 、汤萍 、侯鹏 、钱吉 、阳辉 、吴文静 、马建修 、唐忠福 、张净普 、贾静姗 、殷玲 、张楠 、柳曦 、袁有录 、史兰 、徐小捷 、程化鹏 、史婉君 、陈超 、钟卉菲 、方华 、刘学生 、夏红真 、尚柏羊 、赵跃 、蒋昊 、韩伶利 、贾任远 、任超 、梁永强 、李安林 、谈益强 、尹乐乐 、殷昊 、朱安民 、王阳 、黄辉 、张朋越 、高静 、范军 、尹冬梅 、刘智勇 、赖晓峰 、杨扬仲夫 、王晓文 、赵洁 、袁其龙 、常燕 、任逸尘 、董志仪 、唐中伟 、杨康 、任希辉 、刘英杰 、李洪佳 、周鹏云 、唐霞梅 、王康茂 。