国家标准计划《电子气体 砷化氢》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 玉门大洋天庆石化有限责任公司 、昊华气体有限公司西南分公司 、上海栎智半导体科技有限公司 、全椒南大光电材料有限公司 、上海亿钶气体股份有限公司 、北京普瑞分析仪器有限公司 、浙江省标准化研究院 、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司 、福建恒申电子材料科技有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、上海市计量测试技术研究院 、杭州新世纪混合气体有限公司 、沈阳中复科金压力容器有限公司 、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司 、宿州伊维特新材料有限公司 、北京睿信捷环保科技有限公司 、上海凡伟仪器设备有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 。

主要起草人 马彬淇 、马杰 、潘华杰 、任如 、孙建 、叶凯 、乔洋 、董建平 、沈峰 、史兰 、崔雯 、赵赛迪 、吕磊 、刘丹 、孙福楠 、郭琼 、赖晓峰 、王见见 、依俊廷 、杜雨桐 、黄辉 、李春华 、杨金山 、鲍光强 、王大为 、李明 、常侠 、牛迪 、谈益强 、尹乐乐 、赵洁 、何波 、唐中伟 、周鹏云 、唐霞梅 。