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国家标准《电子工业用气体 高纯氯》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 西南化工研究设计院有限公司光明化工研究设计院有限公司佛山市华特气体有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司太和气体(荆州)有限公司上海仪盟科技有限公司

主要起草人 周鹏云常侠廖恒易方华刘新明汪正宏等

目录

标准状态

基础信息

标准号
GB/T 18994-2014
发布日期
2014-12-22
实施日期
2015-07-01
全部代替标准
GB/T 18994-2003
标准类别
产品
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
71 化工技术
71.100 化工产品
71.100.20 工业气体
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

代替以下标准

全部代替 GB/T 18994-2003

起草单位

起草人

周鹏云
常侠
刘新明
汪正宏
廖恒易
方华

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