国家标准计划《电子气体 锗烷》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 昊华气体有限公司西南分公司 、广东华特气体股份有限公司 、宁夏宝廷新材料科技股份有限公司 、中国测试技术研究院化学研究所 、重庆同辉气体有限公司 、中国计量测试学会 、云南驰宏国际锗业有限公司 、大连华邦化学有限公司 、太和气体（荆州）有限公司 、河北盛泰芯材科技股份有限公司 、北京普瑞分析仪器有限公司 、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司 、浙江省化工研究院有限公司 、贵州省产品质量检验检测院 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、大特（成都）气体有限公司 、液化空气（中国）投资有限公司 、科哲（上海）阀门有限公司 、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司 、宿州伊维特新材料有限公司 、昆明广瑞达特种气体有限责任公司 、杭州云必技术有限公司 、中国计量科学研究院 、杭州新世纪混合气体有限公司 、沈阳中复科金压力容器有限公司 、和立气体（上海）有限公司 、北京睿信捷环保科技有限公司 、上海市计量测试技术研究院有限公司 、爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处 、天策标准化服务（天津）有限公司 、上海凡伟仪器设备有限公司 、福建优力特材料科技有限公司 、三峡大学 、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司成都分公司 、西南化工研究设计院有限公司 。

主要起草人 马昌宁 、杨俊豪 、陈扬天 、茹高艺 、杨扬仲夫 、王瑜 、李洪佳 、王晓文 、阳辉 、吴文静 、黄加斗 、刘辉 、钟卉菲 、陈琛 、赖晓峰 、张帆利 、廖吉伟 、刘英杰 、周桂明 、史兰 、侯鹏 、钱吉 、袁有录 、方华 、娄珈元 、黄辉 、邓海平 、殷昊 、朱安民 、王阳 、陈爽 、葛修杰 、谈益强 、尹乐乐 、高静 、李安林 、赵鑫蕊 、王漫 、贾任远 、任超 、宫兵 、王大为 、梁永强 、赵洁 、魏王慧 、董翊 、任希辉 、董志仪 、何波 、唐中伟 、袁其龙 、周鹏云 、唐霞梅 、高文龙 、陈学航 。