《电子气体 卤化物气体》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
电子级卤化物气体包含三氟化硼、氯化氢、氟和氟氮混合气、高纯氯、三氯化硼，主要应用于掺杂、离子注入、氧化扩散、等离子刻蚀、硅/锗外延生长等方面。
近年来，随着大规模集成电路技术的进步，市场对电子气体的纯度和质量提出了越来越高的要求。
在此背景下，为提升电子特气科技水平发展，现申请立项制定《电子气体 卤化物气体》国家标准英文版。
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