国家标准《电子工业用气体 三氟化硼》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 核工业理化工程研究院 、大连光明化工研究院 、西南化工研究设计院 。

主要起草人 邓建平 、倪志强 、孙福楠 、周鹏云 。