国家标准《电子特气 三氯化硼》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 大连保税区科利德化工科技开发有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、和立气体（上海）有限公司 、太和气体（荆州）有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、海宁市英德赛电子有限公司 、福建久策气体股份有限公司 、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 、江西华特电子化学品有限公司 、苏州金宏气体股份有限公司 、沁阳国顺硅源光电气体有限公司 、上海兄弟微电子技术有限公司 、浙江省化工研究院有限公司 、昊华气体有限公司西南分公司 、杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州国家电子商务产品质量监测处置中心） 、上海申南特种气体有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、上海凡伟仪器设备有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、沈阳中复科金压力容器有限公司 、浙江东开半导体科技有限公司 、昆明广瑞达特种气体有限责任公司 、西南化工研究设计院有限公司 、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司 、西南化工研究设计院有限公司双流分公司 。

主要起草人 施旖旎 、赵趫 、孙福楠 、梁永强 、梁成科 、阳辉 、傅铸红 、陈艳珊 、丁高松 、何经余 、曹素英 、宋富财 、苏子杰 、廖恒易 、刘健 、史婉君 、张建君 、王新喜 、孙猛 、史隽涛 、周礼誉 、鬲春利 、张琦炎 、吕博文 、陈洁 、吴靓 、方华 、辛伶 、何波 、黄小强 、黄辉 、刘扬涛 、宫兵 、易达文 、李阳 、高静 、李威 、赵帅德 、余民 、周鹏云 、沈翠平 。