国家标准计划《电子气体 六氟化钨》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 昊华气体有限公司 、福建德尔科技股份有限公司 、宁夏宝廷新材料科技股份有限公司 、昊华气体有限公司西南分公司 、中国计量测试学会 、湖北和远气体股份有限公司 、天津绿菱气体股份有限公司 、大连华邦化学有限公司 、北京普瑞分析仪器有限公司 、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司 、三峡大学 、贵州省产品质量检验检测院 、浙江省化工研究院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大特（成都）气体有限公司 、大连大特气体有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、四川凯发计量检测有限公司 、布鲁克（北京）科技有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、液化空气（中国）投资有限公司 、科哲（上海）阀门有限公司 、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司 、宿州伊维特新材料有限公司 、昆明广瑞达特种气体有限责任公司 、中国计量科学研究院 、杭州新世纪混合气体有限公司 、沈阳中复科金压力容器有限公司 、和立气体（上海）有限公司 、北京睿信捷环保科技有限公司 、福建优力特材料科技有限公司 、中国计量大学 、上海市计量测试技术研究院有限公司 、爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处 、天策标准化服务（天津）有限公司 、上海凡伟仪器设备有限公司 、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司成都分公司 、西南化工研究设计院有限公司 。

主要起草人 张金彪 、曹素英 、王瑜 、李嘉磊 、杨扬仲夫 、程化鹏 、吴旭飞 、钟少勇 、邸士强 、江罗 、杜鹏举 、张长金 、滕鑫胜 、袁有录 、史兰 、侯鹏 、钱吉 、钟卉菲 、方华 、娄珈元 、邓海平 、黄辉 、王宾 、谭淇 、尚柏羊 、赵跃 、刘英杰 、房嵩 、殷昊 、王阳 、牛迪 、孙鑫 、谈益强 、尹乐乐 、高静 、张朋越 、史婉君 、胡树国 、马浩淼 、吴国忠 、王乐 、李洪佳 、宫兵 、王大为 、梁永强 、赵洁 、袁其龙 、姜阳 、王勇 、任希辉 、董志仪 、王晓文 、何波 、黄小强 、赖晓峰 、周鹏云 、唐霞梅 、王康茂 。