国家标准计划《电子气体 六氟化硫》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 昊华气体有限公司 、福建德尔科技股份有限公司 、浙江省化工研究院有限公司 、福建永晶科技股份有限公司 、上海上芃电气有限公司 、北京普瑞分析仪器有限公司 、南大光电（淄博）有限公司 、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、福建恒申电子材料科技有限公司 、昊华气体有限公司西南分公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、大连大特气体有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、杭州新世纪混合气体有限公司 、沈阳中复科金压力容器有限公司 、宿州伊维特新材料有限公司 、北京睿信捷环保科技有限公司 、广东电网有限责任公司电力科学研究院 、国网山东省电力公司电力科学研究院 、深圳供电局有限公司 、国网湖南省电力有限公司电力科学研究院 、上海凡伟仪器设备有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 。

主要起草人 陈兴龙 、汤月贞 、陈施华 、林德荣 、史婉君 、钟卉菲 、刘春花 、李文 、陈凯 、史兰 、黄秀荣 、张艳志 、张露露 、陈艳珊 、吕磊 、谢世鹏 、郭琼 、孙福楠 、依俊廷 、杜雨桐 、方华 、黄辉 、杨金山 、鲍光强 、王大为 、李明 、谈益强 、尹乐乐 、赵洁 、唐念 、李丽 、齐国栋 、唐峰 、吴俊杰 、何波 、唐中伟 、赖晓峰 、周鹏云 、唐霞梅 。