国家标准计划《硅外延片》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 宁波立立电子股份有限公司 。

主要起草人 许峰 、刘培东 、李慎重 、谌攀 。