# | 计划号 | 项目名称 | 制修订 | 计划下达日期 | 项目状态 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 20250151-T-469 | 碳化硅粉 | 制定 | 2025-01-27 | 正在起草 |
| 2 | 20241932-T-469 | 碳化硅单晶 | 制定 | 2024-06-28 | 正在起草 |
| 3 | 20240494-T-469 | 碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法 | 制定 | 2024-03-25 | 正在征求意见 |
| 4 | 20231108-T-469 | 碳化硅单晶片微管密度测试方法 | 修订 | 2023-12-01 | 正在批准 |
| 5 | 20231112-T-469 | 碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法 | 修订 | 2023-12-01 | 正在批准 |
# | 标准号 | 标准中文名称 | 发布日期 | 实施日期 | 标准状态 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | GB/T 43493.1-2023 | 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第1部分：缺陷分类 | 2023-12-28 | 2024-07-01 | 现行 |
| 2 | GB/T 43493.2-2023 | 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第2部分：缺陷的光学检测方法 | 2023-12-28 | 2024-07-01 | 现行 |
| 3 | GB/T 43493.3-2023 | 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第3部分：缺陷的光致发光检测方法 | 2023-12-28 | 2024-07-01 | 现行 |
| 4 | GB/T 43612-2023 | 碳化硅晶体材料缺陷图谱 | 2023-12-28 | 2024-07-01 | 现行 |
| 5 | GB/T 43313-2023 | 碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法 | 2023-11-27 | 2024-06-01 | 现行 |
| 6 | GB/T 41153-2021 | 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法 | 2021-12-31 | 2022-07-01 | 现行 |
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