国家标准计划《碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 山东天岳先进科技股份有限公司 、安徽长飞先进半导体有限公司 、瀚天天成电子科技（厦门）有限公司 、中国电子科技集团第十三研究所 、南京国盛电子有限公司 、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司 、北京天科合达半导体股份有限公司 、常州臻晶半导体有限公司 。