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国家标准计划《碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 山东天岳先进科技股份有限公司安徽长飞先进半导体有限公司瀚天天成电子科技(厦门)有限公司中国电子科技集团第十三研究所南京国盛电子有限公司云南临沧鑫圆锗业股份有限公司北京天科合达半导体股份有限公司常州臻晶半导体有限公司

目录

项目进度

当前标准计划

20240494-T-469 正在起草

碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法

基础信息

计划号
20240494-T-469
制修订
制定
项目周期
18个月
下达日期
2024-03-25
标准类别
方法
国际标准分类号
77.040
77 冶金
77.040 金属材料试验
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准委

起草单位

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