国家标准计划《碳化硅单晶》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京天科合达半导体股份有限公司 、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟 、南京国盛电子有限公司 、常州臻晶半导体有限公司 、山东天岳先进科技股份有限公司 。