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国家标准计划《碳化硅单晶抛光片》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会。 拟实施日期:发布后6个月正式实施。

主要起草单位 北京天科合达半导体股份有限公司中国科学院物理研究所南京国盛电子有限公司安徽长飞先进半导体有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司

主要起草人 陈小龙彭同华佘宗静王波刘春俊李素青郭钰娄艳芳郑红军杨建骆红钮应喜

目录

项目进度

基础信息

计划号
20200799-T-469
制修订
修订
项目周期
18个月
下达日期
2020-03-06
全部代替标准
GB/T 30656-2014
标准类别
产品
中国标准分类号
H83
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

陈小龙
彭同华
刘春俊
李素青
郑红军
杨建
佘宗静
王波
郭钰
娄艳芳
骆红
钮应喜

投票情况

投票日期
2018-03-19~2018-04-04
通过率
94.00%
投票日期
2021-07-31~2021-08-12
通过率
100.00%

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