国家标准计划《刻蚀机用碳化硅环、碳化硅盘》由 TC194（全国工业陶瓷标准化技术委员会）归口，TC194SC3（全国工业陶瓷标准化技术委员会功能陶瓷分会）执行 ，主管部门为中国建筑材料联合会。

主要起草单位 深圳市志橙半导体材料股份有限公司 、长江存储科技有限责任公司 、长鑫科技集团股份有限公司 、北京北方华创微电子装备有限公司 、中微半导体设备（上海）股份有限公司 、江苏鲁汶仪器股份有限公司 、山东有研半导体材料有限公司 、广州增芯科技有限公司 、粤芯半导体技术股份有限公司 、广东精瓷新材料有限公司 、广东省科学院半导体研究所 、成都方大炭炭复合材料股份有限公司 、新美光（苏州）半导体科技有限公司 、重庆臻宝科技股份有限公司 、安徽四象半导体材料科技有限公司 、昊石新材料科技南通有限公司 、内蒙古京航特碳科技股份有限公司 、无锡卓瓷科技有限公司 、广州市巨龙印制板设备有限公司 、锦州精辰半导体有限公司 。

主要起草人 朱佰喜 、霍宗亮 、陈俊 、刘宇恒 、林读启 、刘军 、张超 、左涛涛 、赵世贵 、薛抗美 、胡冬冬 、蒋阳波 、纪乃富 、张亮 、孙长勇 、徐广渊 、卢晓颖 、梁天文 、马建坤 、陈闻杰 、田涛 、兰立广 、陈星建 、国星 、彭坤 、孙守强 、姜舰 、夏秋良 、杨佐东 、陶民 、唐占银 、吴枚霞 、王文彬 、卢庆鸿 、董发 、杨延辉 、杨波 、闫超敏 、李珍珍 。