国家标准计划《刻蚀机用碳化硅环、碳化硅盘》由 TC194（全国工业陶瓷标准化技术委员会）归口，TC194SC3（全国工业陶瓷标准化技术委员会功能陶瓷分会）执行 ，主管部门为中国建筑材料联合会。

主要起草单位 深圳市志橙半导体材料股份有限公司 、浙江富乐德半导体材料科技有限公司 、中微半导体设备（上海）股份有限公司 、长江存储科技有限责任公司 、北京北方华创微电子装备有限公司 、粤芯半导体技术股份有限公司 、广州增芯科技有限公司 。