国家标准计划《200mm碳化硅单晶抛光片》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 上海天岳半导体材料有限公司 、北京天科合达半导体股份有限公司 、山西烁科晶体有限公司 、广东天域半导体股份有限公司 、扬帆半导体材料(江苏)有限公司 、浙江六方半导体科技有限公司 、南京盛鑫半导体材料有限公司 、河北普兴电子科技股份有限公司 、浙江晶瑞电子材料有限公司 、山东天岳先进科技股份有限公司 、杭州晶驰机电有限公司 。

主要起草人 高超 、吴殿瑞 、张红岩 、佘宗静 、毛开礼 、丁雄杰 、党一帆 、彭红宇 、杨世兴 、李瑞评 、胡任浩 、邓雪华 、吴会旺 、汪传勇 、郭森 、张晓洪 。