国家标准计划《200mm碳化硅单晶抛光片》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 上海天岳半导体材料有限公司 、北京天科合达半导体股份有限公司 、山西烁科晶体有限公司 、安徽长飞先进半导体有限公司 、广东天域半导体股份有限公司 、南京国盛电子有限公司 。