行业标准《碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 、工业和信息化部电子工业标准化研究院 。

主要起草人 丁丽 、周智慧 、蔺娴等 。

备案号：50561-2015。

备案公告： 2015年第7号 。