行业标准《碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 、北京天科合达蓝光半导体有限公司 、工业和信息化部电子工业标准化研究院 。

主要起草人 丁丽 、何友琴 、郑红军等 。

备案号：50560-2015。

备案公告： 2015年第7号 。